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  • 微納電路退火系統(tǒng)RTP150 產(chǎn)品型號:RTP150
    微納電路退火系統(tǒng)
詳細(xì)內(nèi)容

1、樣品尺寸:≤Φ150;

2、控溫范圍:室內(nèi)溫度~1200℃;

3、升溫速率:100/s;

4、控溫精度:±0.5(RT~1000) ,±1(1000~1200);

5、溫度均勻性:≤1.5%設(shè)定溫度(石墨托盤);

6、退火速率:1200℃→400℃,裸片是600/min(雙石墨盤是130/min)。400℃→100℃,裸片是20/min(雙石墨盤是10/min)(氮?dú)獯祾撸?/span>

7、退火溫區(qū)控制:有;

8、PID自整定:配置;

9、爐壁溫度監(jiān)測:有;

10水冷異常監(jiān)測:有;

11、真空度監(jiān)測:有。

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