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  • 高精度勻膠機(jī)GLM200 產(chǎn)品型號:GLM200
    高精度勻膠機(jī)
詳細(xì)內(nèi)容

1、適用晶圓尺寸:8吋及以下;

2、勻膠轉(zhuǎn)速范圍:100 轉(zhuǎn)/~ 12000轉(zhuǎn)/分可調(diào);

3、勻膠時間范圍:1~ 3000秒可調(diào);

4、轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定度:≤±1%

5、膠的不均勻性:≤±1%;

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)形式:加減速度可調(diào),可設(shè)多種程序控制;

7、機(jī)器控制模塊:4.3寸全彩色觸摸屏顯示、燈光閃爍、聲光報(bào)警;

8、真空輸入要求:0.07MPa,真空流量≥12L/min;

9、機(jī)器其他配置:自帶收液瓶、自帶排風(fēng)設(shè)計(jì);

10、電源:AC220V/50Hz,400W

11、機(jī)器外形尺寸:W312mm×H368mm×D355mm

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